22日，記者從中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所獲悉，該所旗下長春光華微電子設(shè)備工程中心有限公司（以下簡稱“光華微電子”）成功研制出國內(nèi)首臺商用12英寸全自動晶圓探針臺。

晶圓探針臺是半導(dǎo)體行業(yè)重要的檢測裝備之一，用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的晶圓測試環(huán)節(jié)，負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試。在這個過程中，晶圓探針臺可以將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來，在進(jìn)入后序工序前予以剔除，從而大幅度降低器件的制造成本。

晶圓探針檢測過程技術(shù)難度極大?！皺z測過程要求，在0.3秒內(nèi)，晶圓探針臺的幾千到幾十萬根探針分別精準(zhǔn)地對應(yīng)到一個個大小約為頭發(fā)絲橫截面四分之一的Pad盤上?！惫馊A微電子董事長田興志說。

由于探針臺技術(shù)門檻較高，目前市場處于雙強(qiáng)壟斷態(tài)勢，東京電子(TEL)和東京精密(TSK)兩家日本公司占據(jù)了絕大部分市場份額。光華微電子于2015年正式立項(xiàng)開展12英寸全自動探針臺產(chǎn)品研發(fā)，2019年起，先后在功率半導(dǎo)體器件、光電探測器、邏輯半導(dǎo)體器件的知名企業(yè)進(jìn)行了樣機(jī)測試。“測試結(jié)果表明，產(chǎn)品已經(jīng)能夠滿足產(chǎn)線生產(chǎn)要求，已經(jīng)具備替代國外進(jìn)口設(shè)備用于晶圓探針檢測的能力。”田興志說。

他表示，光華微電子研制的APT121A型探針臺，作為國內(nèi)第一款商業(yè)化的12英寸全自動晶圓測試探針臺，其性能指標(biāo)已經(jīng)達(dá)到或者接近國際水平。國產(chǎn)APT121A型探針臺能夠有效降低晶圓測試廠的采購及維護(hù)成本。隨著市場推廣和設(shè)備性能的不斷改進(jìn)和提升，必將對推動我國的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展產(chǎn)生積極作用。